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SuperView W2光学3D表面轮廓仪

产品型号:SuperView W2
  • 产品名称:光学3D表面轮廓仪

    • 光源:白光/绿光LED(单双可选)
    • 影像系统:1024×1024
    • 干涉物镜:2.5×,5×、10×、20×、50×、100×
    • XY平台移动范围:200mm×200mm
    • 控制方式:电动
    • 详情咨询客服 13928190502
    •  

详细信息

一、产品简介

  SuperView W2光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、
结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,
并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

  SuperView W2光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、
汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,
从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、产品功能

1.一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,
即可快速实现批量测量功能。

2. 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

 3.测量中提供拼接测量功能。

4. 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5.分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、
圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

 6.分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,
可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

 

三、应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、
弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

半导体制造(减薄粗糙度、镭射槽道轮廓)

光学元器件.曲率&轮廓尺寸&粗糙度

(超精密)加工.轮廓尺寸&角度

表面工程(摩擦学).轮廓面积&体积

3C电子(玻璃屏).粗糙度

标准块.台阶高&粗糙度



 

附录1.依据 ISO/ASME/EUR/GBT等国内外标准计算的2D,3D参数表:

2D参数表

标准名

参数

ISO 4287-1997

 

主剖面

粗糙度

波纹度

振幅参数

Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,

Wq,Wsk,Wku

间距参数

PSm,Pdq

RSm,Rdq

WSm,Wdq

物料比参数

Pmr,Pdc

Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

峰值参数

PPc

RPc

WPc

ISO 13565

ISO 13565-2

Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

ISO 12085

粗糙度图形参数

R,AR,R× ,Nr

波纹度图形参数

W,AW,W×,Wte

其他图形参数

Rke,Rpke,Rvke

AMSE B46.1

2D参数

Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

DIN EN ISO 4287-2010

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

JIS B0601-2013

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

GBT 3505-2009

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

 

3D参数表

标准名

参数

ISO 25178

高度参数

Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa

函数参数

Smr,Smc,S×p

空间参数

Sal,Str,Std

复合参数

Sdq,Sdr

体积参数

Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv

形态参数

Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv

功能参数

Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq

ISO 12781

平面度参数

FLTt,FLTp,FLTv,FLTq

EUR 15178N

振幅参数

Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St

空间参数

Str,Std,Sal

复合参数

Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd

面积体积参数

Smr,Sdc

函数参数

Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq

功能性指标参数

Sbi,Sci,Svi

EUR 16145 EN

振幅参数

Sa,Sq,Sy,Sz,Ssk,Sku

混合参数

Ssc,Sdq,Sdr

功能性指标

Sbi,Sci,Svi,Sk,Spk,Svk

空间参数

Sds,Std,Stdi,Srw,Srwi

硬度参数

Hs,Hvol,Hv,Hps,Hpvol,Hpv,Hap,Hbp

ASME B46.1

3D参数

St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt


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